集積化アクティブ磁界プローブ

LSIからのEMI^*ノイズの測定、プラズマ中の磁界分布の測定などを目的とした世界初のアクティブ型磁界プローブを開発しました. 検出ループコイルと増幅器を１チップに集積化することで、高感度、高空間分解能を有したプローブを実現しています.　また、本プローブはCMOS回路技術を用いることで不要な電界成分を除去することができます.
^*Electromagnetic Interference

試作したアクティブ型磁界プローブ	試作プローブの感度比較
試作プローブによる2次元磁界マップ

文献

1. S. Aoyama, S. Kawahito, T. Yasui and M. Yamaguchi, "A High-Sensitivity Active Magnetic Probe using CMOS Integrated Circuits Technology", Proc. of IEEE Electrical Performance of Electronic Packaging, pp.103-106, 2005.10.
   (The IBM Best Student Paper Award 2005 )
2. S. Aoyama, S. Kawahito, and M. Yamaguchi, "Integrated Active Magnetic Probe in SOI-CMOS Technology", Japanese Journal of Applied Physics, Vol.45, No.9A, pp.6878-6833, 2006.09.
3. S. Aoyama, S. Kawahito and M. Yamaguchi, "Fully Integrated Active Magnetic Probe for High-definition Near-field Measurement", Proc. of IEEE Electromagnetic Compatibility Symposium, Vol.2, pp.426-429, 2006.08.
4. S. Aoyama, S. Kawahito and M. Yamaguchi, "An Active Magnetic Probe Array for the Multiple-point Concurrent Measurement of the Electromagnetic Emissions", IEEE Transactions on Magnetics, Vol. 42, No.10, pp.3303-3305, 2006.10.